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最新消息 > AMAT發布硅晶圓切割線鋸新品

文章来源:由「百度新聞」平台非商業用途取用"http://www.eepw.com.cn/article/92634.htm"

  美國應用材料(AMAT)發布了可從硅錠上切出120m厚太陽能電池用晶圓的線鋸設備AppliedHCTMaxEdge。AMAT表示,使用該裝置可減少每枚晶圓的硅用量等,所以可將多晶硅型太陽能電池單元的制造成本降低約0.18美元W(假設多晶硅的價格為55美元kg時)。本文引用地址:http:www.eepw.com.cnarticle92634.htm  AppliedHCTMaxEdge可在不降低產量的情況下切割出較薄的晶圓。切割負荷比該公司原裝置AppliedHCTB5可增大45%。兩裝置均采用以兩根金屬線切割的方法。但新產品具有可控制金屬線張力的功能,切割較薄的晶圓時可使用更細的金屬線。  使用原來的金屬線時,要制造較薄的晶圓,必須控制施加硅鑄錠上的負荷和切割速度。因此,難以兼顧高產和晶圓的薄型化。  太陽能電池單元廠商通過減薄晶圓,減少了每枚晶圓的硅用量,從而降低制造成本。但因變薄了的晶圓易碎裂,因此在切出晶圓后的制造工序中存在無法確保高成品率的問題。(

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